|
極微構造エレクトロニクス |
|||||
| ・著者：難波 進 編著 ・定価：10290円(本体9800円＋税) ・B5 534頁 ・ISBN 4-274-03107-1 ・発売日：1986/04 |
||||||
|
||||||
| ※本体価格は変更される場合があります。 ※通常2〜3日以内で発送いたします。 |
先端的な研究成果を集大成し、詳しく解説
半導体技術を支える極微構造エレクトロニクスについて、最新の研究成果をまとめたもの。量子力学的な電子現象、結晶成長と極微構造デバイスの基礎特性、プロセス技術、加工技術、応用までを、第一線の執筆陣により詳しく解説している。★このような方におすすめ
電気、電子、応用物理、材料関連の研究者、技術者の方々主要目次
1章 緒論
2章 極微構造における電子状態
3章 結晶成長と極微構造デバイス基礎特性
4章 極微構造材料プロセス技術
5章 極微構造加工技術
6章 極微構造エレクトロニクスの応用
 ページトップへ戻る |
詳細目次
1章 緒論2章 極微構造における電子状態
極微構造超伝導体における量子力学的な電子状態
極微構造半導体における量子力学的な電子状態
界面の極微構造とその評価
3章 結晶成長と極微構造デバイス基礎特性
極微構造結晶成長
極微結晶の評価
サイズ効果電子デバイスの基礎特性
4章 極微構造材料プロセス技術
イオン注入．アニール技術
イオンビームおよびラジカルを用いた薄膜堆積
絶縁膜の低温形成
プラズマおよびスパッタを用いた薄膜堆積
5章 極微構造加工技術
極微構造加工装置
極微構造加工特性
極微構造加工の評価技術
6章 極微構造エレクトロニクスの応用
生体計測への応用
光信号処理への応用
機能デバイスへの応用
索引
| ページトップへ戻る |